白光干涉测厚仪主要有主机和探头两部分组成。主机电路包括发射电路、接收电路、计数显示电路三部分，由发射电路产生的高压冲击波激励探头，产生超声发射脉冲波，脉冲波经介质介面反射后被接收电路接收，通过单片机计数处理后，经液晶显示器显示厚度数值，它主要根据声波在试样中的传播速度乘以通过试样的时间的一半而得到试样的厚度。
白光干涉测厚仪的功能：
●采用了磁性测厚方法，可测量磁性金属基体上非磁性覆盖层的厚度；
●可采用单点校准和两点校准两种方法对仪器进行校准；
●可采用基本校准修正法对测头系统误差进行更新修正，保证仪器在测量过程中的准确性；
●负数显示功能，保证仪器零位点校准的准确性，提高测试精度；
●操作过程有蜂鸣声提示；
●两种关机方式：手动关机方式和自动关机方式；
●电池电压指示：低电压提示；
●微功耗设计，在待机装态不到10微安的电流。
影响白光干涉测厚仪的测量精度原因：
(1)覆盖层厚度大于25μm时，其误差与覆盖层厚度近似成正比；
(2)基体金属的电导率对测量有影响，它与基体金属材料成分及热处理方法有关；
(3)任何一种测厚仪都要求基体金属有一个临界厚度,，只有大于这个厚度，测量才不会受基体金属厚度的影响；
(4)对试样测定存在边缘效应,，即对靠近试样样边缘或内转角处的测量是不可靠的；
(5)试样的曲率对测量有影响，这种影响将随曲率半径的减小明显地增大；
基体金属和覆盖层的表面粗糙度影响测量的精度，粗糙度增大，影响增大。
