光学膜厚仪利用光学的特点，能够直接检测出物件涂层、或者是其它物件的厚度。光学膜厚测量仪所利用的工作原理，便是光的折射与反射。
这种仪器在使用时，摆放在物件的上方，从仪器当中发射了垂直向下的可视光线。其中一部分光会在膜的表面形成一个反射，另一部分则会透过仪器的薄膜，在薄膜与物件之间的界面开成反射，这个时候，薄膜的表面，以及薄膜的底部同时反射的光会造成干涉的现象。仪器便是利用了这样的一种现象，从而测量出物件的厚度。厚度的测量看似简单，实测上所利用的光反射原理，却是需要经过一系列的设计才能达到如此理想状态。如此光学膜厚测量仪的使用，便也有着其它传统测厚仪所没有的优点。
光学膜厚仪的使用注意事项：
1.零点校准
在每次使用膜厚仪之前需要进行光学校准，因为之前的测量参数会影响该次对物体的测量，零点校准可以消除前次测量有参数的影响，能够降低测量的结果的误差，使测量结果更加精确。
2.基体厚度不宜过薄
在使用光学膜厚仪对物体进行测量时基体不宜过薄，否则会极大程度的影响仪器的测量精度，造成数据结果不准确，影响测量过程的正常进行。
3.物体表面粗糙程度
对于被测物体的表面不宜太过粗糙，因为粗糙的表面容易引起光的衍射，降低了光学测量仪的测量精度，造成很大的误差。所以被测物体的表面应该尽量保持光滑，以保证测量结果的精确性。
